~性能參數(shù):
型號
QV Apex202/pro
QV Apex302/pro
QV Apex404/pro
QV Apex606/pro
 
測量范圍
X
200mm
300mm
400mm
600m
 
Y
200mm
200m
400mm
650mm
 
Z
200mm
200m
250mm
250mm
 
分辨率
0.1μm(0.02μm)
 
CCD照相
黑白
 
精度(20°C+/-0.2°
E1xy
(1.5+3L/1000μm)/(0.8+2L/1000μm)
 
E1z
(3.0+4L/1000μm)/(3.0+2/L1000μm)
 
E2xy
(2.5+4/L1000μm)/(1.4+3/L1000μm)
 
zui大驅(qū)動速度
x/y
300mm/s或200mm/s
 
z
300mm/s或200mm/s
150mm/s或100mm/s
150mm/s或100mm/s
300mm/s或200mm/s
 
工作臺玻璃尺寸
327*271mm
399*271mm
493*551mm
697*758mm
zui大工作高度
200mm
200mm
250mm
250mm
zui大工作負(fù)載
15kg/10kg
20kg/15kg
40kg/30kg
50kg/40kg
尺寸(W*D*H)
714*860*1535mm
784*860*1535mm
1040*1220*1765mm
1310*1861*1821mm
重量
353kg
383kg
662kg
 
1848kg